真空腔体除尘过滤方式及过滤装置大家了解多少呢？
有些真空工艺会产生大量的尘土，如果尘土随被抽气体进入油封真空泵内混在泵油中，会像研磨剂一样加速泵腔内零件的磨损，对泵转子和泵腔造成磨损和损坏，堵塞油路或使泵无法运转，如果尘土进入真空阀门则会使密封失效而泄漏，因此尘土的规避和过滤己成为增加真空腔体的使用寿命，增加生产率的关键问题，在有尘土的真空系统中，要采用尘土过滤器。
在尘土量较少时，可以由泵油过滤系统滤除，但尘土量较大时，为不让真空泵损坏，让真空泵的正常运转要使用除尘器。真空腔体加工厂家解释说常用尘土过滤方法有以下几种：
（1）旋风离心式。进气口与筒体成偏疼放置，尘土随气流旋转，因离心力效果而沉降在过滤器的底部。
（2）油淋式。在油泵的效果下，使真空泵油从除尘器的顶部高速喷下，油雾与上升的气流相互效果吸附，混在气流中的尘土与油一同沉降至油池。
（3）油湿介质粘附式。尘土在气流效果下磕碰用真空泵油浸湿的介质外表而被粘附，常用介质有环状或颗粒状陶瓷、金属丝条等。
（4）介质阻挠式。使用介质的机械阻挠效果过滤尘土，常用介质有金属丝网、天然或合成纤维、多孔金属、多孔塑料等。
（5）静电吸附式。使用真空中气辉光放电构成等离子体，尘土在等离子体中附着电荷，在电场力效果下被驱向电极外表而集。
（6）混合式。将以上几种过滤形式进行组合构成混合的过滤形式。
真空腔体——实漏和虚漏
并非所有的抽气时间延长、极限压力下降都是因为泄漏，在使用检漏仪检漏前，有必要了解一下如何判断真空设备是否真的发生了泄漏。
真空腔室的内壁或腔室内壁附着的污染物，在真空下持续的释放出气体，这种现象被称为放气。当真空腔室内部存在死空间，并且该死空间通过一个狭长的通道与腔室内部连通时，死空间内的气体在真空下也会缓慢的释放出来，形成类似于放气或泄漏的现象，通常把这种现象叫做虚漏。真实的泄漏可以通过检漏找到，放气也可以通过清洗真空腔体内表面而解决，而虚漏一旦产生，很难被发现，需要在设计和制造时尽量避免容易产生虚漏的结构或工艺，如上图中的螺纹连接（一定要用的话可以使用空心螺栓），很长的狭缝或毛细管，两侧满焊的腔体焊接（较厚的壳体建议真空侧满焊大气侧断续焊）等等。
真空腔体
在科学设备中，我们一般通过真空泵来获取高真空。简单的真空泵就是机械泵，原理上和小气筒抽气是一样的。只不过是通过转子旋转，将空气从吸气口吸入，然后从出气口排出。机械泵能够达到的真空度大概是1Pa，也就是大气压的十万分之一。
当然了，这样的真空度还远远达不到很多物理实验的要求。这时就要请出另一位“泵”届大佬，分子泵。分子泵利用靠高速旋转的动叶片和静止的定叶片相互配合，给空气分子一个额外的定向速度，从腔体中抽出。
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